SEMICONDUCTOR EXPOSURE APPARATUS,申请号KR19970012068U-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号	KR200169701(Y1)	申请公布日期	2000.03.02
申请号	KR19970012068U	申请日期	1997.05.27
申请人	HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.	发明人	LEE, JEONG-HOON
分类号	H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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