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发明名称
TEST PATTERN FOR MONITORING OF WAFER CHARACTERISTICS
摘要
申请公布号
KR100243274(B1)
申请公布日期
2000.03.02
申请号
KR19960080091
申请日期
1996.12.31
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
LEE, CHUNG-HO;JONG, KYU-HWAN;JANG, WON-HEE;LEE, WON-HYUNG
分类号
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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