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发明名称
METHOD OF FORMING AN ELEMENT ISOLATION FILM IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100242387(B1)
申请公布日期
2000.03.02
申请号
KR19970035547
申请日期
1997.07.28
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
JOUNG, KU-CHUL;LEE, SEUNG-HO
分类号
H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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