发明名称 |
STURCTURE OF FOCUS PATTERN OF SEMICONDUCTOR WAFER |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100244453(B1) |
申请公布日期 |
2000.03.02 |
申请号 |
KR19970003774 |
申请日期 |
1997.02.06 |
申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
YEE, HAN-SU |
分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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