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发明名称 CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST MATERIAL
摘要
申请公布号 KR100242681(B1) 申请公布日期 2000.03.02
申请号 KR19960031811 申请日期 1996.07.31
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 HATAKEYAMA, JUN;NAGURA, SHIGEHIRO;MOTOMI, KIYOSHI;NAGATA, TAKESI;ISHIHARA, TOSHINOBU
分类号 G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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