发明名称 METHOD OF FORMING ANTI-REFLECTION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100242464(B1) 申请公布日期 2000.03.02
申请号 KR19960073664 申请日期 1996.12.27
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 PARK, SANG-JONG
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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