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发明名称
WAFER SUPPORTING UNIT
摘要
申请公布号
KR100245810(B1)
申请公布日期
2000.03.02
申请号
KR19970010497
申请日期
1997.03.26
申请人
KEC CORP.
发明人
LEE, JONG-HONG;SONG, JONG-KYU;LEE, BYOUNG-YONG;YOON, SEUK-NAM;JUNG, JONG-WON
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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