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发明名称 PHOTOSENSITIVE POLYMER AND CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST COMPOSITION USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100245410(B1) 申请公布日期 2000.03.02
申请号 KR19970065115 申请日期 1997.12.02
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 CHOI, SANG-JUN;JUNG, DONG-WON;KANG, YUL;PARK, CHUN-GEUN
分类号 C08F220/18;C08F222/06;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 C08F220/18
代理机构 代理人
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