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发明名称
EXPOSURE APPARATUS FOR WAFER
摘要
申请公布号
KR200169685(Y1)
申请公布日期
2000.03.02
申请号
KR19940036813U
申请日期
1994.12.28
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
OH, MAN-YOUNG
分类号
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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