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发明名称
DEVICE TO GENERATE VAPOR FOR GROWING WAFER OXIDATION FILM
摘要
申请公布号
KR200172709(Y1)
申请公布日期
2000.03.02
申请号
KR19960050837U
申请日期
1996.12.18
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
LYU, DU-YOL
分类号
H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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