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发明名称
SPUTTERING PROCESSES FOR DEPOSITING THIN FILMS
摘要
申请公布号
CA817414(A)
申请公布日期
1969.07.08
申请号
CAD817414
申请日期
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
HOLLIS L. CASWELL;EMANUEL STERN
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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