发明名称 SPUTTERING PROCESSES FOR DEPOSITING THIN FILMS
摘要
申请公布号 CA817414(A) 申请公布日期 1969.07.08
申请号 CAD817414 申请日期
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HOLLIS L. CASWELL;EMANUEL STERN
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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