| 发明名称 |
NEUTRAL PARTICLE BEAM TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100242483(B1) |
申请公布日期 |
2000.03.02 |
| 申请号 |
KR19960055496 |
申请日期 |
1996.11.14 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
KINOSITA, KEIJO;SAMUKAWA, SEIJI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H05H3/02;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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