| 主权项 |
1.一种制备杂质氢含量小于10ppb,一氧化碳含量小 于20ppb及/或氧含量小于25ppb的高纯度液态氮之装 置,其中包含要纯化的液态氮源(1,11,111),其含有至 少一种杂质氢,一氧化碳和氧;该液态氮源系用导 管(2)接到至少一个反应器(3,3')的入口,各反应器内 装着至少一种吸附剂,使其可脱除一或多种该等杂 质;且该反应器出口装着一连接导管(4,16,16')。2.如 申请专利范围第1项所述之装置,其中该要纯化的 液态氮源(1,11,111)系安装在产生要纯化的液态氮所 用冷箱之外的。3.如申请专利范围第1或2项所述之 装置,其中该液态氮源(1,11,111),包含一可移动(11)或 固定的(1)液态氮贮存槽或一冷箱(111)。4.如申请专 利范围第1或2项所述之装置,其中该导管(4,16,16')系 连接到一可移动(29)或固定(5)的纯化液态氮贮存槽 或连接到以液态氮罐装给料操作的产生氮之设备( 35)。5.如申请专利范围第1或2项所述之装置,其中 该要纯化的液态氮源系连通到装着该吸附剂的两 个反应器(3,3');该两反应器系平行安装者。6.如申 请专利范围第1或2项所述之装置,其中该反应器(3,3 ')系连接到一蒸馏塔(36)以将氢从液态氮中分离出 来。图式简单说明: 第一图所示为用以从装在贮存槽内的液态氮脱除 其中所含杂质之装置。 第二图所示为用以从贮存端的液态氮脱除其中所 含杂质之装置。 第三图所示为脱除液态氮所含杂质之装置,该装置 包含两个平行安装的吸附反应器。 第四图所示为一液态氮贮存桶,其上装备着一工具 以纯化该液态氮且连接到一桶以运送该氮。 第五图所示为用以分离空气所含气体的冷箱,其连 接到一纯化液态氮所用之装置。 第六图所示为用以分离空气所含气体的单元,以高 纯度液态氮罐装给料操作。 第七图所示为用以经由吸附作用脱除氧气各一氧 化碳的装置,其联结着一蒸馏塔以脱除氢气。 |
