| 主权项 |
1.一种光阻瓶废气自动排除装置,该装置至少包含: 一加压气体供应装置,用以供应光阻喷洒所需之加 压气体; 一压力调节器,与该加压气体供应装置相连接,用 以调节该加压气体输出压力大小; 一三向阀,其第一端与该压力调节器相连,用以控 制气体的充填和排除; 一废气输出管路,连接于该三向阀的第二端,用以 输废气; 一光阻瓶,用以盛装一光阻溶剂,其气体出入口连 接于该三向阀的第三端,该三向阀藉由该三端的连 接以控制该光阻瓶加压气体的充填和该光阻瓶内 废气的排除; 一光阻输送管线,连接于该光阻瓶之液体出口上, 用以输出该光阻溶剂;及 一喷洒嘴,连接于该光阻输送管线,用以喷洒该光 阻溶剂。2.如申请专利范围第1项之装置,其中更包 括: 一微粒过滤器,连接于该三向阀的第三端,用以滤 除该加压气体内的微粒; 一开关阀,连接于该微粒过滤器之后,用以管制该 加压气体的流通;及 一快速接头,连接在该开关阀和该光阻瓶之气体出 入口之间,当需要清洗该光阻瓶时,可拔除以方便 清洗。3.如申请专利范围第1项之装置,其中上述之 加压气体为氮气。4.如申请专利范围第2项之装置, 其中上述之开关阀为正常关气动阀。5.如申请专 利范围第1项之装置,其中上述之压力调节器用以 调节该加压气体之压力为一压力设定値,该压力设 定値约为0.4kg/cm2。6.如申请专利范围第1项之装置, 其中上述之三向阀在执行光阻喷洒时,接通该加压 气体供应装置至该光阻瓶之气体出入口间之气体 输送管线。7.如申请专利范围第1项之装置,其中上 述之三向阀在执行排除该光阻瓶内废气时,接通该 光阻瓶气体出入口至该废气输出管路间之气体输 送管线。8.一种光阻瓶废气自动排除装置,该装置 至少包含: 一加压气体供应装置,用以供应光阻喷洒所需之加 压气体; 一压力调节器,与该加压气体供应装置相连接,用 以调节该加压气体输出压力大小; 一三向阀,其第一端与该压力调节器相连,用以控 制气体的充填和排除; 一废气输出管路,连接于该三向阀的第二端,用以 输废气; 一微粒过滤器,连接于该三向阀的第三端,用以滤 除该加压气体内的微粒; 一开关阀,连接于该微粒过滤器之后,用以管制该 加压气体的流通; 一光阻瓶,用以盛装一光阻溶剂,其气体出入口连 接于该三向阀的第三端,该三向阀藉由该三端的连 接以控制该光阻瓶加压气体的充填和该光阻瓶内 废气的排除; 一光阻输送管线,连接于该光阻瓶之液体出口上, 用以输出该光阻溶剂;及 一喷洒嘴,连接于该光阻输送管线,用以喷洒该光 阻溶剂。9.如申请专利范围第8项之装置,其中上述 之加压气体为氮气。10.如申请专利范围第8项之装 置,其中上述之开关阀为正常关气动阀。11.如申请 专利范围第8项之装置,其中上述之压力调节器用 以调节该加压气体之压力为一压力设定値,该压力 设定値约为0.4kg/cm2。12.如申请专利范围第8项之装 置,其中上述之三向阀在执行光阻喷洒时,接通该 加压气体供应装置至该光阻瓶之气体出入口间之 气体输送管线。13.如申请专利范围第8项之装置, 其中上述之三向阀在执行排除该光阻瓶内废气时, 接通该光阻瓶气体出入口至该废气输出管路间之 气体输送管线。14.如申请专利范围第8项之装置, 其中更包括一快速接头,连接在该光阻瓶之气体出 入口和该气动阀之间,当需要清洗该光阻瓶时,可 拔除以方便清洗。图式简单说明: 第一图为传统的光阻喷洒管路装置。 第二图为本发明之光阻瓶废气自动排除装置。 |
