PROCEDIMIENTO PVD PARA LA DEPOSICION DE CAPAS DE MATERIAL DURO DE VARIOS COMPONENTES.

摘要

SE DESCRIBE UN PROCESO DE RECUBRIMIENTO PVD, DONDE SE ELABORAN CAPAS DE SUSTANCIAS ENDURECIDAS, COMPUESTAS DE NITRUROS O CARBONITRUROS DE LOS METALES TI, ZR, HF O DE ALEACIONES DE TIAL, ZRAL, HFAL, TIZR, TIZRAL, CON UN MAGNETRON (UBM) NO EQUILIBRADO. DURANTE UN ESPACIO DE TIEMPO DETERMINADO DEL PROCESO DE RECUBRIMIENTO SE SEPARA EL MATERIAL DE RECUBRIMIENTO ADICIONAL A PARTIR DE UNA EVAPORACION (KBE) DE DESCARGA DE ARCO CATODICO SOBRE LOS SUBSTRATOS A SER RECUBIERTOS.