发明名称 A VACUUM PUMP WITH MAGNETIC BEARING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0981694(A2) 申请公布日期 2000.03.01
申请号 EP19990911202 申请日期 1999.03.09
申请人 VARIAN, INC. 发明人 CASARO, FAUSTO;MEEKS, CRAWFORD;LAAGER, ALAIN
分类号 F04D19/04;F16C39/02;F16C39/06;(IPC1-7):F16C39/06 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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