发明名称 制造一个半导体元件的方法
摘要 在制造一个半导体元件,尤其是一个半导体二极管的方法中,该半导体衬底具有形成电极端子的金属层(3,4)和钝化物质(2),并且该衬底被暴漏给粒子辐射(P)以调节载体寿命,其中至少在辐射侧上的金属层(3)和钝化物质(2)没有被施加,直到粒子辐射(P)之后。结果在半导体衬底(1)中得到预先含有不希望的边缘效应的连续的损坏区域(5)。
申请公布号 CN1245974A 申请公布日期 2000.03.01
申请号 CN99118119.0 申请日期 1999.08.23
申请人 亚瑞亚·勃朗勃威力有限公司 发明人 N·加尔斯特;S·林德
分类号 H01L21/329 主分类号 H01L21/329
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 马铁良;王忠忠
主权项 1.从一个半导体衬底(1)制造一个半导体元件,尤其是一个半导体二极管的方法,该半导体衬底具有形成电极端子的金属层(3,4)和钝化物质(2),并且该衬底被暴漏给粒子辐射(P)以调节载体寿命,其中至少在辐射侧上的金属层(3)和钝化物质(2)没有被施加,直到粒子辐射(P)之后。
地址 瑞士巴登
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