发明名称 Precision replication by chemical vapor deposition
摘要
申请公布号 IL129750(D0) 申请公布日期 2000.02.29
申请号 IL19990129750 申请日期 1999.05.03
申请人 CVD INC. 发明人
分类号 C23C16/00;C23C16/01;C23C16/02;(IPC1-7):C23C 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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