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发明名称
Precision replication by chemical vapor deposition
摘要
申请公布号
IL129750(D0)
申请公布日期
2000.02.29
申请号
IL19990129750
申请日期
1999.05.03
申请人
CVD INC.
发明人
分类号
C23C16/00;C23C16/01;C23C16/02;(IPC1-7):C23C
主分类号
C23C16/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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