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发明名称
METHOD FOR THE DETERMINATION OF PHYSICAL PARAMETERS OF THIN FILMS, PREFERABLY PHOTORESIST FILMS, VIA THE MEASUREMENT OF THEIR WAVEGUIDING PARAMETERS
摘要
申请公布号
HU9904541(D0)
申请公布日期
2000.02.28
申请号
HU19990004541
申请日期
1999.12.09
申请人
发明人
HAMORI ANDRAS
分类号
G02B6/13
主分类号
G02B6/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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