Method of simulating oxidation enhanced diffusion by solving partial differential equation,申请号EP19980109790-传众专利搜索

发明名称	Method of simulating oxidation enhanced diffusion by solving partial differential equation
摘要
申请公布号	EP0881586(A3)	申请公布日期	2000.02.23
申请号	EP19980109790	申请日期	1998.05.28
申请人	NEC CORPORATION	发明人	AKIYAMA, YUTAKA
分类号	H01L21/316;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/22;(IPC1-7):G06F17/50	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
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