| 发明名称 |
X-RAY TUBE AND MICROELECTRONICS ALIGNMENT PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0980583(A1) |
申请公布日期 |
2000.02.23 |
| 申请号 |
EP19970923544 |
申请日期 |
1997.05.05 |
| 申请人 |
NANODYNAMICS, INCORPORATED |
发明人 |
WANG, CHIA-GEE |
| 分类号 |
G03F9/00;H01J35/18;H01J35/32;H05G1/06;H05G1/26;(IPC1-7):H01J35/14 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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