| 发明名称 |
System using a polar coordinate stage and continuous image rotation to compensate for stage rotation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0971254(A3) |
申请公布日期 |
2000.02.23 |
| 申请号 |
EP19990305471 |
申请日期 |
1999.07.09 |
| 申请人 |
NANOMETRICS INCORPORATED |
发明人 |
BUCHANAN, ROBERT;YARUSSI, RICHARD;SPADY, BLANE R. |
| 分类号 |
H01L21/68;G01B11/00;G01Q30/02;G01Q30/04;G02B7/00;G05D3/12;H01L21/66;(IPC1-7):G02B7/00 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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