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发明名称
摘要
申请公布号 JP3011982(B2) 申请公布日期 2000.02.21
申请号 JP19900242558 申请日期 1990.09.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/324;H01L21/02 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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