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发明名称 SUBSTRAT DE BASE EN SI RECOUVERT D'UNE COUCHE DE CDTE OU DE CDZNTE RICHE EN CD ET PROCEDE POUR SA PRODUCTION
摘要
申请公布号 FR2728103(B1) 申请公布日期 2000.02.18
申请号 FR19950014804 申请日期 1995.12.13
申请人 NEC CORPORATION 发明人 KAWANO MASAYA
分类号 H01L21/205;C30B23/02;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/36;H01L21/363;H01L31/0264;H01L31/18 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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