| 摘要 |
<p>Ein quasi-hemisphärischer Fabry-Perot-Resonator ist in zwei Strahlungsschilde gehüllt und in einer Vakuumkammer untergebracht. Somit kann eine definierte kryogene Umgebung für den Resonator eingestellt werden. Der Resonator besteht in bekannter Weise aus einem sphärischen und einem ebenen Spiegel, wobei der erstere feststeht und der zweite entlang der Resonatorachse und senkrecht dazu verfahren werden kann sowie bis zu einer vollen Drehung um die Resonatorachse drehbar ist. Die zu vermessende Dünnschicht ist auf einem Substrat aufgebracht, das auf der Stirnseite des ebenen Spiegels eingespannt ist. Der ebene Spiegel selbst sitzt auf der Stirnseite eines nicht wärmeleitenden Auslegerarms, der durch die beiden Strahlungsschilde reicht. Der Spiegel ist separat heizbar. Die Transmission der Mikrowelle durch den Resonator wird mit einem Empfangssystem erfaßt, dessen Eingang eine Auskoppelöffnung im sphärischen Spiegel ist. Das Bewegen der Probe im Resonator, die Steuerung der Temperatur des ebenen Spiegels als auch die Meßwertverarbeitung und daraus ermittelte Bestimmung des örtlichen Oberflächenwiderstands der Dünnschicht geschieht rechnergesteuert und rechnerunterstützt. Es kann erstmals mit hoher Qualität der ortsabhängige Oberflächenwiderstand RS einer supraleitenden Dünnschicht ermittelt werden.</p> |
