| 摘要 |
Es wird ein Herstellungsverfahren für einen elektrischen Isolator angegeben, wobei auf ein Formstück des Isolators eine hydrophobe plasmapolymere Belegung aufgebracht wird. Die plasmapolymere Belegung wird dabei durch Zünden eines Plasmas in einem unpolaren oder unpolare Gruppen aufweisenden Arbeitsgas bei einem Arbeitsdruck zwischen 1 . 10<-5> mbar und 5 . 10<-1> mbar hergestellt. Der elektrische Leistungseintrag pro Kammervolumen liegt zwischen 0,5 und 5 kW/m<3>, der Gasfluss pro Kammervolumen liegt zwischen 10 und 1000 sccm/m<3>. Es wird eine dauerhafte, harte und hydrophobe plasmapolymere Belegung geschaffen, deren Qualität von dem Material des Formstücks unäbhängig ist.
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| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;LIEBERMANN, JOHANNES;BAALMANN, ALFRED;VISSING, KLAUS, DIETER;HENNEMANN, OTTO-DIEDRICH |
发明人 |
LIEBERMANN, JOHANNES;BAALMANN, ALFRED;VISSING, KLAUS, DIETER;HENNEMANN, OTTO-DIEDRICH |
