集成电路测试方法和采用该测试方法的集成电路测试装置

摘要

在实行功能测试和直流测试的IC测试装置中,在直流测试装置的输出端连接高电阻的电阻器,通过该电阻器的连接,即使在将直流测试装置连接到功能测试装置的状态下,也能正常操作功能测试装置,从而在功能测试的实行过程中插入直流测试,并行实行功能测试和直流测试,将直流测试装置中开关切换这样花费时间的控制在功能测试中实行,使开关切换时间不添加到测试所需的时间上,从而缩短测试时间。

主权项

1、一种IC测试方法，用于下述IC测试装置中，该IC测试装置包括：功能测试装置，通过能够将输出端子的状态设定为高阻抗模式的驱动器，向被测试IC的各端子施加测试图案信号，对被测试IC进行功能测试；和直流测试装置，在向被测试IC的各端子施加规定电压的状态下，测定流过被测试IC的各端子的电流，其特征在于，在所述功能测试装置对所述被测试IC实行功能测试的过程中，将所述直流测试装置的感知点经电阻连接到所述被测试IC的端子，在所述直流测试装置的输出电压被设定为规定电压的状态下，将所述功能测试装置的驱动器控制为高阻抗模式，在该状态下，由所述直流测试装置测定流过所述被测试IC的端子的漏电流，在功能测试的实行过程中测定直流测试项目中的漏电流测定。