发明名称 半导体传感器装置的壳体及其制造方法
摘要 本发明涉及到一个半导体-传感器装置的一个壳体,在其中一个传感器和一个计算逻辑被集成在一个半导体块(2)中。壳体有一个壳体基体(1),半导体块被安放在其上,并且一个将半导体块(2)封闭在壳体基体(1)内的盖子(3)。这个盖子(3)是被直接安放在壳体基体(1)上并且包括一个薄膜(5)和/或一个迷宫式密封(9)。
申请公布号 CN1244918A 申请公布日期 2000.02.16
申请号 CN97181313.2 申请日期 1997.12.05
申请人 西门子公司 发明人 T·杨策克;B·斯塔德勒;D·豪德奥
分类号 G01L9/00;G01L19/14 主分类号 G01L9/00
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 马铁良;王忠忠
主权项 1.一个半导体-传感器装置的壳体,在其中一个传感器和一个计算逻辑被集成在一个半导体块(2)中并且被安排在一个壳体基体(1)中,此时壳体被一个薄膜(5)封闭住, 其特征为, 一个盖子(3)是直接放在壳体基体(1)上并且有一个盖子基体(4)具有至少一个贯通开口(6),薄膜(5)截断贯通开口并且只是自由地放置在这个贯通开口(6)上。
地址 联邦德国慕尼黑