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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR TREATING WASTEWATERS FROM A CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING PROCESS IN CHIP MANUFACTURING
摘要
申请公布号 EP0979211(A1) 申请公布日期 2000.02.16
申请号 EP19980932010 申请日期 1998.04.27
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HAMMER, JUERGEN;RICHTER, ANDRE;KRAUS, WERNER;PETERMANN, HEINZ-DIETER
分类号 B01D61/14;B01D61/22;B01D61/58;C02F1/44;(IPC1-7):C02F1/44;H01L21/304 主分类号 B01D61/14
代理机构 代理人
主权项
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