用于制造半导体的炉管装置

摘要

本发明公开了一种用于制造半导体的炉管的新结构，主要涉及石英管的接头部分具有特殊设计的空间形态，再配合Ｏ形环（ｏ－ｒｉｎｇ），使石英管与石英管之间的接头部分不致有气体外漏而造成机台附近的不锈钢管壁腐蚀，进而达到完全防漏目的。

主权项

1、一种用于制造半导体的炉管装置，包括至少一由两截段石英管及相应的弧形夹所构成的接头，所述两截段石英管的相对端分别具有一凸缘，所述弧形夹可调整地夹紧于相对的两凸缘上；其特征在于，所述两截段石英管之一的突缘上形成有突出的环形平台，在该环形平台的外套有密封O形环。