发明名称 Plasma process and apparatus
摘要
申请公布号 GB9930603(D0) 申请公布日期 2000.02.16
申请号 GB19990030603 申请日期 1999.12.24
申请人 SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS LIMITED 发明人
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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