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发明名称
Dry developable photoresist compositions and method for use thereof
摘要
申请公布号
EP0543762(B1)
申请公布日期
2000.02.16
申请号
EP19920480163
申请日期
1992.10.23
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES
发明人
CLECAK, NICHOLAS JEFFRIES;WILLSON, CARLTON GRANT;MCDONALD, SCOTT ARTHUR;CONLEY, WILLARD EARL;KWONG, RANEE WAI-LING;SCHLOSSER, HUBERT;LINEHAN, LEO LAWRENCE;SACHDEV, HARBANS SINGH
分类号
G03F7/029;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/26;G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/038
主分类号
G03F7/029
代理机构
代理人
主权项
地址
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