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发明名称
摘要
申请公布号	JP3006030(B2)	申请公布日期	2000.02.07
申请号	JP19900130971	申请日期	1990.05.21
申请人		发明人
分类号	G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28	主分类号	G01R31/28
代理机构		代理人
主权项
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