发明名称 MATERIALE PER FORMARE UNA CONFIGURAZIONE FINE E PROCEDIMENTO PER FABBRICARE UN DISPOSITIVO SEMICONDUTTORE IMPIEGANTE IL MEDESIMO
摘要
申请公布号 IT1298974(B1) 申请公布日期 2000.02.07
申请号 IT1998MI00673 申请日期 1998.03.30
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 ISHIBASHI TAKEO;TOYOSHIMA TOSHIYUKI;KATAYAMA KEIICHI;MINAMIDE AYUMI
分类号 G03F7/00;G03F7/038;G03F7/40;H01L21/027 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
地址