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发明名称 Piezoelektrische Klemmvorrichtung mit vergrösserter Bewegung
摘要
申请公布号 DE69511196(T2) 申请公布日期 2000.02.03
申请号 DE19956011196T 申请日期 1995.09.11
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 SANO, MITSUNORI
分类号 H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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