| 发明名称 |
SYSTEM FÜR ABTASTLITHOGRAPHIE MIT GEGENBEWEGUNG |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69604905(T2) |
申请公布日期 |
2000.02.03 |
| 申请号 |
DE19966004905T |
申请日期 |
1996.03.19 |
| 申请人 |
ETEC SYSTEMS, INC. |
发明人 |
THOMAS, TIMOTHY;ALLEN, PAUL |
| 分类号 |
G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B17/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
