| 发明名称 |
Verfahren zur Schutzbeschichtung von Substraten sowie Beschichtungsanlage |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59209786(D1) |
申请公布日期 |
2000.02.03 |
| 申请号 |
DE19925009786 |
申请日期 |
1992.09.09 |
| 申请人 |
BALZERS AG, BALZERS |
发明人 |
JOST, STEPHAN;SENN, LEONHARD |
| 分类号 |
C23C16/50;C09D183/00;C23C16/40;C23C16/515;(IPC1-7):C23C16/50;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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