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发明名称
CVD-Verfahren und Vorrichtung zur Innenbeschichtung von Hohlkörpern
摘要
申请公布号
DE59700920(D1)
申请公布日期
2000.02.03
申请号
DE19975000920
申请日期
1997.07.11
申请人
SCHOTT GLAS
发明人
WALTHER, MARTEN
分类号
C23C16/50;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/52
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
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