| 发明名称 | 叠状电容器的锥形电极 | ||
| 摘要 | 制造叠状电容器的方法,其包括下列步骤,提供具有穿过那里的具有导电通路的第1绝缘层,在第1绝缘层上形成第2绝缘层,在第2绝缘层中形成具有锥形侧壁的沟槽,在沟槽中和侧壁上形成第1电极,第1电极电连接导电通路,在第1电极上形成电介质层,在电介质层上形成第2电极。具有增加表面积的叠状电容器,包括在由电介质材料提供的沟槽中形成第1电极。第1电极具有形成第1电极圆锥形部分的锥形表面,第1电极接近电容性耦连存储节点。 | ||
| 申请公布号 | CN1243335A | 申请公布日期 | 2000.02.02 |
| 申请号 | CN99110723.3 | 申请日期 | 1999.07.28 |
| 申请人 | 西门子公司;国际商业机器公司 | 发明人 | 沈华;J·尼策尔;C·J·拉登斯;D·科特基 |
| 分类号 | H01L21/70;H01L21/28 | 主分类号 | H01L21/70 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 王勇;傅康 |
| 主权项 | 1.制造叠状电容器的方法，其包括下列步骤：提供具有穿过其中的导电通路的第1绝缘层；在第1绝缘层上形成第2绝缘层；在第2绝缘层中形成具有锥形侧壁的沟槽；在沟槽中和侧壁上形成电连接导电通路的第1电极；在第1电极上形成电介质层；在电介质层上形成第2电极。 | ||
| 地址 | 联邦德国慕尼黑 | ||