| 发明名称 | 样品加工装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明防止了具有分离层的键合衬底叠层被分离时产生的缺陷。在第一工序中,在旋转键合衬底叠层(101)的情况下,将射流喷射到多孔层(101b),以便局部分离键合衬底叠层(101),同时留下多孔层(101b)的中心部分作为未分离区。在第二工序中,在停止键合衬底叠层(101)旋转的情况下,将射流喷射到多孔层(101b)。从预定方向将力施加到未分离区,以便完全分离键合衬底叠层(101)。 | ||
| 申请公布号 | CN1243327A | 申请公布日期 | 2000.02.02 |
| 申请号 | CN99110696.2 | 申请日期 | 1999.07.27 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 柳田一隆;米原隆夫;近江和明;坂口清文 |
| 分类号 | H01H21/00 | 主分类号 | H01H21/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
| 主权项 | 1.一种用来加工具有分离层的样品的工艺装置，其特征在于包含：用来局部分离样品，并留下分离层的预定区域作为未分离区的分离机构。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||