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发明名称 Process for the fabrication of spatially structured devices
摘要
申请公布号 EP0865075(A3) 申请公布日期 2000.02.02
申请号 EP19980102579 申请日期 1998.02.14
申请人 MICRONAS INTERMETALL GMBH 发明人 IGEL, GUENTHER, DIPL.-ING.;MALL, MARTIN, DR. DIPL.-PHYS.
分类号 H01L23/34;B81C1/00;H01L23/36;(IPC1-7):H01L21/78;H01L21/48;H01L21/60;H01L21/24;H01L23/367 主分类号 H01L23/34
代理机构 代理人
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