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发明名称 BUFFER SOLUTIONS FOR SUSPENSIONS USED IN CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号 EP0975705(A1) 申请公布日期 2000.02.02
申请号 EP19980919271 申请日期 1998.04.15
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人 DUSEMUND, CLAUS;RHEIN, RUDOLF;SCHWEIKERT, MANUELA;HOSTALEK, MARTIN
分类号 C09G1/02;C09K3/14;C23F3/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C09G1/02;H01L21/321 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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