| 主权项 |
1.一种涡轮分子泵,系包括有:一具有可将泵之旋转体予以非接触性支持之磁力轴承、一用以检知该旋转体位置之位置检知装置、一加热手段及一温度检知装置之泵本体;及一根据上述位置检知装置之输出信号以控制该磁力轴承之泵控制部;其特征在于:该泵控制部系具有一可藉软体程式而实施根据上述温度检知装置之输出信号以对该加热手段之温度控制、及实施该温度控制以外之其他控制之数位处理手段。2.依申请专利范围第1项所述之涡轮分子泵,其中,该数位处理手段系可控制上述加热手段及磁力轴承者。3.依申请专利范围第1项所述之涡轮分子泵,其中,该泵控制部系包括有显示泵状态之显示手段,而该数位处理手段系可控制上述加热手段及显示手段者。4.依申请专利范围第1项所述之涡轮分子泵,其中,该温度控制系于多次重覆实施上述其他控制之所设定时间内,而间歇性实施者。图式简单说明:第一图系本发明之第一实施例之涡轮分子泵之概略构造方块示意图。第二图乃示第一图泵控制部之磁力轴承控制装置之数位信号处理器处理之一实施例之流程图。第三图乃示第一图泵控制部之磁力轴承控制装置之数位信号处理器处理之另一实施例之流程图。第四图系本发明之第二实施例之涡轮分子泵之概略构造示意图。第五图乃示第四图泵控制部之显示控制装置之微电脑处理之一实施例之流程图。 |
