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发明名称
METHOD OF PLANATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100243278(B1)
申请公布日期
2000.02.01
申请号
KR19970002685
申请日期
1997.01.29
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
KIM, CHANG-KYU;BAEK, MIN-SOO
分类号
H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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