发明名称 METHOD OF PLANATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100243278(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19970002685 申请日期 1997.01.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KIM, CHANG-KYU;BAEK, MIN-SOO
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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