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发明名称
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100244041(B1)
申请公布日期
2000.02.01
申请号
KR19960032496
申请日期
1996.08.03
申请人
KOKUSA ELECTRIC CO.,LTD.
发明人
YONEMITSU, SHUJI;KARINO, TOSHIKAZU;YOSHIDA, HISASHI;WATAHIKI, SHINICHIRO;YOSHIDA, YUJI;SHIMURA, HIDEO;SUGIMOTO, TAKESHI;ABURATANI, YUKINORI;IKEDA, KAZUHITO
分类号
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/08
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
主权项
地址
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