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发明名称 CHAMBER ASSEMBLY FOR ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR200169709(Y1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19970013093U 申请日期 1997.05.31
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KANG, JONG-DE
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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