发明名称 JIG OF WAFER TRANSFER ROBOT
摘要
申请公布号 KR200167582(Y1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19940031747U 申请日期 1994.11.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 YANG, SEOUNG-HO;JEON, KWANG-HO;LEE, IN-HAN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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