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发明名称 METHOD FOR PRODUCING A BOTTOM-RESIST
摘要
申请公布号 KR100242894(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19920017484 申请日期 1992.09.25
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 LEUSCHNER, RAINER DR.;SEZI, RECAI DR.;SEBALD, MICHAEL DR.
分类号 G03F7/039;G03F7/038;G03F7/09;G03F7/095;G03F7/11;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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