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发明名称 EPITAXIAL WAFER AND FABRICATING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100243623(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19960038575 申请日期 1996.09.06
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 MIURA, YOSHIKI;SIMAZU, MITSURU;MOTOKI, KENSAKU;OKAHISA, KAKUJI;MATSUSHIMA, MASATO;SEKI, HISASHI;KIKETSU, AKINORI
分类号 C30B29/40;H01L21/20;H01L33/16;H01L33/32;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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