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发明名称
ROBOT BLADE FOR SECONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR200169703(Y1)
申请公布日期
2000.02.01
申请号
KR19970012393U
申请日期
1997.05.29
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
LEE, SANG CHUN
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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